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中山大學王鋼:基于金屬有機化學氣相沉積的ε-Ga2O3薄膜異質(zhì)外延及其在場效應晶體管中的應用

視頻MOCVD20222025-01-10 11:58
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基于金屬有機化學氣相沉積的-Ga2O3薄膜異質(zhì)外延及其在場效應晶體管中的應用王鋼*,陳偉驅(qū),羅浩勛,陳梓敏,盧星,裴艷麗中山大學
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