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吳帆正樹:碳化硅溝槽刻蝕技術研究進展
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WBSC 2021
2025-04-04 20:21
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《碳化硅溝槽刻蝕技術研究進展》作者:吳帆正樹,張清純,馬宏平,張潔,侯欣藍,張園覽單位:復旦大學工程與應用技術研究院超越照明研究所
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