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【視頻報告 2018】北京大學馮玉霞博士:Si襯底上GaN基外延材料生長及雜質缺陷研究
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IFWS
2025-01-10 11:58
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垂直氮化鎵器件,尤其是硅襯底上,因其低成本襯底而引起了人們對大功率應用的廣泛關注。但其性能仍低于氮化鎵襯底上的垂直氮化鎵器件。關鍵問題是在硅襯底上實現低位錯密度和連續厚氮化鎵層具有挑戰性。會上,北京大學馮玉霞博士結合具體的研究實踐,分享了Si襯底上GaN基外延材料生長及雜質缺陷研究的成果,首次提供了在C摻雜半絕緣氮化鎵中取代C原子占據N位點的明確證據。
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