4月2日，君原電子與東湖高新區簽約，將在光谷建設半導體靜電吸盤項目。

靜電吸盤作為晶圓生產設備的核心部件之一，是利用靜電吸附、搬運晶圓的陶瓷托盤，如同芯片制造的“隱形手”，用在刻蝕機、光刻機、鍍膜設備上，能固定晶圓，確保其紋絲不動。由于陶瓷材料和精密電極的制造難度高，半導體靜電吸盤生產技術是國內企業在推進芯片制造國產化中需要攻克的重要技術之一。

君原電子成立于2020年，具備半導體靜電吸盤（ESC）從研發到量產的全流程能力，其產品覆蓋14納米及以上制程的主要刻蝕機臺應用，已通過國內12寸晶圓廠驗證。

此次簽約項目落戶光谷筑芯科技產業園，將建設靜電吸盤產線，就近為光谷集成電路企業提供靜電吸盤生產與維修服務。

君原電子總經理王繼增表示，項目落戶光谷，將進一步拉近與光谷集成電路企業的距離，降低物流成本，提高產品應用效率。未來公司將與當地產業鏈上下游企業協同合作，不斷突破半導體靜電吸盤技術，力爭成為全球技術領先的集成電路核心零部件供應商。

東湖高新區負責人表示，將營造更好營商環境，聚集更多集成電路產業鏈企業專心、安心在光谷發展，推動光谷建設“世界存儲之都”“全球化合物半導體產業創新中心”。

（來源：中國光谷）