日本精密零部件制造企業Orbray開發出了適用于電子產品的全球最大級別金剛石基板,尺寸為2厘米見方。該公司表示,今后將增大至2英寸(約5厘米)直徑,爭取2026年面向功率半導體及量子計算機等用途實現產品化。
這項研究成果已于3月14日在應用物理學會春季學術演講會上發表。金剛石的晶體結構是以碳原子為頂點的立方晶格擴展。基板表面主要有兩種類型,一種由相當于晶體結構側面的“(100)面”構成,另一種由斜截面 “(111)面”構成。斜截面類型雖然適用于電子等工業應用領域,但存在尺寸難以增大的課題。
Orbray公司自主開發出了使金剛石晶體在“特殊藍寶石基板”上生長的技術。盡管該公司并未公布這項技術的詳情,但被認為是“臺階流動生長法(step-flowgrowth)”的改良版,該方法通過在略微傾斜的藍寶石基板上生長晶體,來減輕施加在金剛石晶體上的應力。
(來源:集微)