國家知識產權局信息顯示,山東晶鎵半導體有限公司申請一項名為“一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法”的專利,公開號 CN 119635419 A,申請日期為2024年12月。
專利摘要顯示,本發明屬于半導體制造技術領域,尤其涉及一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法,包括如下步驟:S1,將研磨沖洗后的氮化鎵晶圓固定于拋光機的夾具上;S2,對拋光機的密封艙進行抽真空處理,直至真空度達到設定的真空度閾值,然后向密封艙內充入氧氣,直至密封艙內氧氣的壓力值達到設定的壓力閾值;S3,打開紫外燈和加熱器,紫外燈照射拋光液,加熱器將拋光液加熱到設定的溫度并維持該溫度恒定,然后啟動拋光機,對氮化鎵晶圓進行拋光;S4,對拋光完成后對氮化鎵晶圓進行清洗。本方法提高了氧化速率,進而提高了氮化鎵晶圓的拋光效率。
天眼查資料顯示,山東晶鎵半導體有限公司,成立于2023年,位于濟南市,是一家以從事計算機、通信和其他電子設備制造業為主的企業。企業注冊資本1307.1895萬人民幣。通過天眼查大數據分析,山東晶鎵半導體有限公司參與招投標項目2次,專利信息9條,此外企業還擁有行政許可5個。