近年來,物理氣相傳輸(PVT)法在制備大尺寸、高質量SiC單晶襯底方面取得了重大突破,進一步推動了SiC在高壓、高頻、高溫電子器件領域的應用。由于SiC粉體在單晶生長過程中發揮著重要作用, 近年來,制備高純的SiC 粉體逐漸成為SiC單晶生長領域的研究熱點。
近日,由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟(CASA)與三安光電股份有限公司共同主辦的“2025功率半導體制造及供應鏈高峰論壇”在重慶山城國際會議中心盛大召開。論壇圍繞功率半導體制造及供應鏈中的諸多關鍵問題,多方優勢力量強強聯合,院士領銜,專家齊聚,攜手促進功率半導體全產業鏈協同發展。
河南中宜創新芯發展有限公司董事長兼總經理孫毅
期間 ,“分論壇一:8英寸碳化硅晶圓智能制造”上,河南中宜創新芯發展有限公司董事長兼總經理孫毅,帶來了“碳化硅半導體粉體進展”的主題報告,詳細介紹碳化硅半導體粉體技術進展及發展趨勢。報告指出,當前我國碳化硅材料產業迎來“百團大戰”,發展面臨著碳化硅襯底生長“慢”,碳化硅襯底加工“難”,碳化硅缺陷密度去除工藝壁壘“高”等困難。
碳化硅產業鏈價值量倒掛,關鍵部分主要集中在上游端。襯底和外延成本占比高達70%,遠高于硅基襯底,導致碳化硅功率器件滲透率較低。當前碳化硅襯底由6英寸向8英寸過渡,預計2026年中國6英寸碳化硅襯底產能將占全球產能的50%左右。
碳化硅材料具有高折射率、高熱導率、輕量化等優勢,隨著中國碳化硅技術突破和產能攀升,碳化硅材料在功率半導體領域已經開始了大規模使用,應用于光波導鏡片的碳化硅生產工藝也愈發成熟。相信隨著技術的不斷進步和成本的降低,碳化硅材料一定會在AR眼鏡領域實現更廣泛的應用。
報告認為,第三代半導體產業的發展,需要合理競爭,建立良性產業生態;加強行業合作,推動國內產業的快速發展;組成產業聯盟,增加抵御國外行業限制能力。
嘉賓簡介
孫毅,現任平頂山市政協委員、河南中宜創芯發展有限公司董事長、中國機床工具工業協會磨料磨具分會行業專家委員會副主任委員、行業品牌推介委員會副主任委員。
孫毅曾先后榮獲全國“百佳企業家”、全國煤炭工業綜合利用與多種經營“先進個人”、河南省企業科技創新帶頭人、河南省管企業“勞動模范”、平頂山市“解放思想 科學發展”先進個人、平頂山市“科技功臣”、開封經濟年度人物、開封市工業強市“特殊貢獻獎”、平頂山市優秀企業家等榮譽稱號,曾被授予河南省“五一勞動獎章”等。
在孫毅的帶領下,傳統煤炭企業率先“換道領跑”,建成了國內最大碳化硅粉體生產企業易成新材公司,是碳化硅磨料行業標準起草單位,擁有世界最大、產業鏈最完整的硬脆材料切割刃料生產基地和國際領先的碳化硅工程陶瓷生產線。他積極實施“創新+實業+資本”發展模式,為中國平煤神馬集團培育了第一家能源新材料上市公司。他發揚自主創新精神,對接國家戰略新興產業,自主研制碳化硅半導體材料,一舉填補河南省第三代半導體產業領域空白,年產2000噸碳化硅半導體粉體項目建成后,將領軍國內碳化硅半導體材料行業。
關于中宜創芯
河南中宜創芯發展有限公司成立于2023年5月24日,是由中國平煤神馬控股集團和平頂山發展投資集團合資設立的公司,計劃投資20億元,分期建設年產2000噸碳化硅半導體粉體項目。項目一期500噸生線于2023年6月20日開工建設,9月20日建成并開始試生產,9月30日產品成功下線,創同類行業建設和投產的最快速度。2024年3月30日,一期生產線達產,產品純度最高達到7N8(99.999998%),已在國內三十多家企業和科研機構開展試用和驗證。