據珠海高新區消息，2月10日，珠海至微半導體零部件清洗項目正式動工。標志著上海至純科技在華南地區的戰略布局邁出重要一步，將進一步推動半導體零部件清洗服務的升級與發展，為華南地區半導體產業集群發展帶來新的活力與機遇。該項目建成后，可為珠三角半導體晶圓廠提供關鍵制程設備的零部件精密清洗和翻修服務，進一步完善珠海集成電路的產業鏈與產業生態。

2024年9月23日，至純科技半導體零部件清洗項目簽約落戶珠海高新區，該項目由珠海高新區和橫琴粵澳深度合作區聯動協作引進，在珠海高新區建設規模化的半導體清洗工廠。該項目廠房總面積4200平方米，配置10級無塵車間，含4條獨立制程清洗產線和表面處理產線，年清洗產能36萬件，主要為半導體晶圓廠提供關鍵制程設備的零部件精密清洗和翻修服務，為設備零部件延長使用壽命，降低工廠運營成本。項目建成后可為珠三角半導體晶圓廠提供“2小時配套圈”服務。

珠海至微半導體科技有限公司是A股上市公司上海至純潔凈系統科技股份有限公司（以下簡稱“至純科技”）的子公司，至純科技主要從事半導體制程和廠務設備研發、生產以及半導體零部件清洗服務，年營收約人民幣40億元。

據了解，作為珠海集成電路產業發展的主陣地，2024年，珠海高新區半導體與集成電路產業經濟規模實現106億元，同比增長22%。現有企業總數97家，占全市總數近70%。