近日，晶馳機(jī)電開(kāi)發(fā)的8英寸碳化硅（SiC）電阻式長(zhǎng)晶爐順利通過(guò)客戶(hù)驗(yàn)證，設(shè)備穩(wěn)定性和工藝穩(wěn)定性均滿(mǎn)足客戶(hù)需求。

圖1   8英寸碳化硅晶驗(yàn)收晶錠

技術(shù)創(chuàng)新，引領(lǐng)未來(lái)

此次推出的8英寸碳化硅電阻式長(zhǎng)晶爐，是晶馳機(jī)電針對(duì)當(dāng)前市場(chǎng)需求精心打造的先進(jìn)半導(dǎo)體材料制備新裝備。 

該設(shè)備采用獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，結(jié)合最先進(jìn)的過(guò)程控制理論和自動(dòng)化控制方法，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)晶過(guò)程中工藝參數(shù)的精準(zhǔn)控制和設(shè)備運(yùn)行的高度智能化。通過(guò)創(chuàng)新的熱場(chǎng)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)均勻的徑向溫度和寬范圍精準(zhǔn)可調(diào)的軸向溫度梯度。熱場(chǎng)穩(wěn)定性高，使用壽命長(zhǎng)，大幅提升了晶體的質(zhì)量和良品率。

圖2  8英寸碳化硅電阻式長(zhǎng)晶爐 

電阻法工藝：簡(jiǎn)化操作，加速普及

與傳統(tǒng)的感應(yīng)式碳化硅單晶設(shè)備相比，晶馳機(jī)電開(kāi)發(fā)的電阻法SiC長(zhǎng)晶爐簡(jiǎn)化了工藝設(shè)計(jì)流程，熱場(chǎng)穩(wěn)定性高，熱場(chǎng)使用壽命長(zhǎng)，多爐次生長(zhǎng)單晶的一致性好，特別適合大尺寸碳化硅單晶生長(zhǎng)。這一系列特點(diǎn)使得電阻法設(shè)備尤其適合希望快速進(jìn)入SiC單晶生長(zhǎng)領(lǐng)域但又缺乏深厚經(jīng)驗(yàn)基礎(chǔ)的企業(yè)。

圖3  8英寸碳化硅驗(yàn)收晶片位錯(cuò)指標(biāo)

圖4  8英寸碳化硅驗(yàn)收晶片微管缺陷指標(biāo) 

小批量交付，開(kāi)啟合作新篇章

憑借卓越的技術(shù)性能和市場(chǎng)適應(yīng)性，晶馳機(jī)電8英寸碳化硅電阻式長(zhǎng)晶爐已獲得多家客戶(hù)認(rèn)可，并正式開(kāi)啟了小批量交付。這不僅是客戶(hù)對(duì)晶馳機(jī)電技術(shù)創(chuàng)新能力的肯定，也是晶馳機(jī)電市場(chǎng)策略精準(zhǔn)把握的證明。晶馳機(jī)電正積極尋求與更多碳化硅襯底材料廠家的深度合作，旨在共同推動(dòng)SiC材料的應(yīng)用普及與技術(shù)迭代，共創(chuàng)行業(yè)輝煌。 

攜手合作，共創(chuàng)輝煌

晶馳機(jī)電作為浙江大學(xué)杭州國(guó)際科創(chuàng)中心的孵化企業(yè)，將努力弘揚(yáng)求是精神，秉持創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展的理念，深化產(chǎn)學(xué)研合作，強(qiáng)化自主創(chuàng)新能力，不斷優(yōu)化產(chǎn)品性能，提高技術(shù)成果轉(zhuǎn)化效率，擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，以滿(mǎn)足全球市場(chǎng)對(duì)高性能碳化硅材料日益增長(zhǎng)的需求。 

晶馳機(jī)電銷(xiāo)售經(jīng)理趙耀表示：“我們很高興看到晶馳機(jī)電8英寸碳化硅電阻式長(zhǎng)晶爐項(xiàng)目取得成功，這不僅是公司技術(shù)進(jìn)步的表現(xiàn)，也是我們對(duì)市場(chǎng)需求快速響應(yīng)的結(jié)果。我們期待與更多合作伙伴共同推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。” 

本次技術(shù)突破和產(chǎn)品驗(yàn)證的成功，不僅增強(qiáng)了晶馳機(jī)電在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)力，也為中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展注入了新的活力。

（來(lái)源：晶馳機(jī)電）