國家知識產權局信息顯示,鄭州勢壘科技有限公司取得一項名為“種用于金剛石生長的 MPCVD 裝置”的專利,授權公告號 CN 222182548 U,申請日期為 2024 年 4 月。
專利摘要顯示,本申請涉及一種用于金剛石生長的 MPCVD 裝置,包括殼體,其具有上蓋,殼體內設有水冷臺,水冷臺上端設有鉬臺,水冷臺和上蓋之間設有呈圓環形的微波石英罩,上蓋、微波石英罩和水冷臺圍成反應腔,上蓋上設有與上蓋密封連接的多個視窗和與反應腔連通的進氣通道,水冷臺包括水平部和伸出殼體底部的豎直部,水冷臺內設有與反應腔連通的出氣通道,水冷臺內還設有液冷通道,液冷通道具有進水通道和出水通道。本申請反應腔密封效果好,能有效隔離外界空氣,維持了反應腔內真空工作環境。