國家知識產權局信息顯示,深圳市森國科科技股份有限公司申請一項名為“一種 MOSFET 結構的制作方法及 MOSFET 結構”的專利,公開號 CN 119132964 A,申請日期為 2024 年 11 月。
專利摘要顯示,本發明公開一種 MOSFET 結構的制作方法及 MOSFET 結構,該方法包括:在晶圓上進行離子注入形成 p 型屏蔽區,并在晶圓上刻蝕出溝槽,晶圓包括第一電流傳輸層和第二電流傳輸層,溝槽分布在第二電流傳輸層的兩側;在溝槽下方形成摻雜區,摻雜區位于第二電流傳輸層的兩側;在摻雜區和晶圓上生長柵氧化層和第八阻擋層,通過光刻膠對第八阻擋層進行刻蝕和沉積多晶硅,形成兩個柵極區;形成氧化介質層包裹柵極區,在摻雜區、氧化介質層和第二電流傳輸層上沉積源極區和肖特基接觸區,在晶圓底部沉積漏極區,進行歐姆接觸和肖特基接觸。本發明通過 p 型屏蔽區和摻雜區保護柵極氧化物和肖特基接觸區,并控制導電電流路徑寬度,降低飽和電流,提升短路能力和可靠性。