隨著第三代半導(dǎo)體功率器件在新能源汽車、光伏風(fēng)電、電力傳輸?shù)葢?yīng)用提升，第三代半導(dǎo)體功率器件的分析檢測需求也日益增加。近日，第十屆國際第三代半導(dǎo)體論壇&第二十一屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇（IFWS&SSLCHINA2024）在蘇州召開。

期間“第三代半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)與檢測研討會(huì)”上，深圳平湖實(shí)驗(yàn)室失效分析首席專家何光澤做了“面向SiC/GaN功率器件失效分析的測試技術(shù)與典型應(yīng)用”的主題報(bào)告，結(jié)合第三代半導(dǎo)體功率器件產(chǎn)業(yè)鏈與分析檢測應(yīng)用之關(guān)聯(lián)，第三代半導(dǎo)體功率器件分析流程，具體介紹了無損分析，電性失效分析 – 缺陷定位，物性失效分析–結(jié)構(gòu)與缺陷觀察等內(nèi)容。

何光澤

深圳平湖實(shí)驗(yàn)室失效分析首席專家

報(bào)告顯示，配備短波長的EMMI、高壓(3KV)的OBIRCH與thermal emission是第三代半導(dǎo)體功率器件失效分析缺陷定位不可或缺的儀器，增加了亮點(diǎn)偵測的效率。

SEM, FIB與TEM是結(jié)構(gòu)觀察的三個(gè)基本工具，對(duì)于工藝研發(fā)占有舉足輕重的地位，若是需要判斷原子級(jí)別，則球差TEM是必備的設(shè)備。若是得觀察SiC的PN結(jié)，傳統(tǒng)的SEM以外，F(xiàn)IB與SCM也是另外的選項(xiàng)。SIMS在縱深摻雜濃度的檢測是唯一的選擇，與結(jié)構(gòu)觀察同等重要。

表面分析、污染分析、化學(xué)態(tài)鑒定、晶向與晶粒觀察，位錯(cuò)觀察、應(yīng)力分析等等，不同的分析場景就需應(yīng)用不同的材料分析工具，分析者需確認(rèn)材料的元素、分子、結(jié)構(gòu)、樣品狀態(tài)，觀察范圍來選擇適合的工具，并充分與各領(lǐng)域?qū)＜矣懻摵螅拍芴峁┳钸m合的方案。 

嘉賓簡介

何光澤，深圳平湖實(shí)驗(yàn)室失效分析首席專家，曾在茂硅與聯(lián)電負(fù)責(zé)良率提升與失效分析的事務(wù)，在樣品化學(xué)處理、缺陷定位與電鏡觀察上有豐富的經(jīng)驗(yàn)。2015進(jìn)入第三方分析檢測實(shí)驗(yàn)室閎康科技，并于后期擔(dān)任失效分析處長一職，總管兩岸失效分析與靜電測試之業(yè)務(wù)，在閎康科技期間，發(fā)表了5篇國際論文，同時(shí)也擔(dān)任臺(tái)灣靜電學(xué)會(huì)議程委員與臺(tái)灣電路板協(xié)會(huì)半導(dǎo)體構(gòu)裝委員會(huì)委員。何光澤于2024年加入深圳平湖實(shí)驗(yàn)室擔(dān)任失效分析首席專家，負(fù)責(zé)分析檢測中心的管理運(yùn)作。

關(guān)于平湖實(shí)驗(yàn)室

國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（深圳）于2021年12月由科技部授牌，2022年8月由深圳市科技創(chuàng)新局舉辦成立深圳平湖實(shí)驗(yàn)室作為主體運(yùn)營單位，圍繞SiC和GaN及下一代先進(jìn)功率電子材料及器件、核心裝備及零部件、配套材料等領(lǐng)域，開展核心技術(shù)攻關(guān)。 

實(shí)驗(yàn)室位于深圳市龍崗區(qū)羅山科技園，占地面積130畝，100級(jí)潔凈間面積9500平米，擁有業(yè)界領(lǐng)先的寬禁帶功率半導(dǎo)體基礎(chǔ)設(shè)施，國際、國內(nèi)各類先進(jìn)設(shè)備380余臺(tái)套。實(shí)驗(yàn)室人力規(guī)模350人，匯聚海內(nèi)外頂尖人才，打造面向全國的開放、公共、共享的科研、中試和分析檢測平臺(tái)，共同構(gòu)建可持續(xù)發(fā)展的未來。

（根據(jù)現(xiàn)場資料整理，僅供參考）