天眼查顯示,華潤微電子(重慶)有限公司“一種LIGBT器件及其制備方法”專利公布,申請公布日為2024年9月24日,申請公布號為CN118693137A。
本發(fā)明提供一種LIGBT器件及其制備方法,該LIGBT器件包括半導體結構、發(fā)射極結構、集電極結構、柵結構、浮空接觸區(qū)、隔離層及二極管結構,其中,半導體結構包括依次層疊的襯底、介電層及外延層;發(fā)射極結構包括基區(qū)、發(fā)射區(qū)及發(fā)射極接觸區(qū);集電極結構包括緩沖區(qū)及集電區(qū),緩沖區(qū)與基區(qū)之外的外延層作為漂移區(qū);柵結構位于基區(qū)的上表面;浮空接觸區(qū)位于外延層的上表層,浮空接觸區(qū)與集電區(qū)間隔預設距離;隔離層位于集電區(qū)與浮空接觸區(qū)之間的外延層的上表面;二極管結構包括位于隔離層上表面且相互鄰接的陰極接觸區(qū)及陽極接觸區(qū)。本發(fā)明通過浮空接觸區(qū)及二極管結構的設置,消除了集電極電壓折回現(xiàn)象,降低了器件的關斷損耗與關斷時間。