10月18日,“蕪湖市生態環境局”公示了關于蕪湖予秦半導體科技有限公司晶體材料研發及產業化項目環境影響報告書。
報告書顯示,該項目總投資1.1億元,選址位于蕪湖高新技術產業開發區,項目占地面積約3000平方米,租賃蕪湖太平洋塑膠有限公司廠房建筑面積2428.6平方米,建設SiC半導體晶體材料生產線,項目共投入30臺長晶設備,產能為840個晶錠/年。
據悉,該項目早于2022年8月8日在蕪湖市弋江區發展和改革委員會進行首次備案,原規劃建設碳化硅長晶爐總部及生產基地項目,組裝生產碳化硅長晶設備(環評豁免);后于2024年4月1日變更備案并通過,建設晶體材料研發及產業化項目,并且于同年6月對備案中項目占地面積、租賃廠房建筑面積、建設周期等建設內容進行更正并通過備案。
公開資料顯示,予秦半導體成立于2022年,是一家主要從事第三代半導體材料-碳化硅襯底研發、生產和銷售的公司,其團隊研發的碳化硅長晶爐掌握了粉料提純關鍵技術,能夠在達到高極限真空、低背景漏率的基礎上,實現溫場、流量、真空度等參數可視化實時監控,同時兼具豐富的生產工藝優化經驗,有效提高碳化硅生長速度。