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武漢新芯取得清洗裝置及半導體制造設備專利,去除晶圓邊緣殘留物避免影響后續工藝

日期:2024-10-17 閱讀:267
核心提示:國家知識產權局信息顯示,武漢新芯集成電路股份有限公司取得一項名為清洗裝置及半導體制造設備的專利,授權公告號 CN 221832892

 國家知識產權局信息顯示,武漢新芯集成電路股份有限公司取得一項名為“清洗裝置及半導體制造設備”的專利,授權公告號 CN 221832892 U,申請日期為 2024 年 7 月。

專利摘要顯示,本實用新型提供了一種清洗裝置及半導體制造設備,所述清洗裝置用于清洗晶圓,所述清洗裝置包括:可旋轉的支撐結構,設置于所述晶圓下方,所述支撐結構的外周具有第一環形槽,所述晶圓的邊緣放置于所述第一環形槽中;可旋轉的轉動結構,設置于所述晶圓外周,所述轉動結構的外周具有第二環形槽,所述晶圓的邊緣放置于所述第二環形槽中,所述轉動結構和/或所述支撐結構能夠帶動所述晶圓旋轉;所述第一環形槽和/或所述第二環形槽的內壁設置有第一噴口,通過所述第一噴口能夠向所述晶圓邊緣噴出第一清洗液。本實用新型的技術方案使得能夠去除晶圓邊緣的殘留物,避免影響后續工藝。

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