近日,由浪潮華光參與制定的國家標準《III族氮化物半導體材料中位錯成像的測試透射電子顯微鏡法》經由國家市場監督管理總局(國家標準化管理委員會)正式發布,為III族氮化物半導體材料在微電子器件、光電子器件領域應用位錯成像的測試提供了標準支撐。
《III族氮化物半導體材料中位錯成像的測試透射電子顯微鏡法》描述了用透射電子顯微鏡來進行III族氮化物半導體材料中位錯成像的測試方法,適用于III族氮化物半導體的薄膜或體單晶中位錯的成像測試。III族氮化物半導體材料主要包括GaN、AIN、InN以及上述三種材料的組合體系,如InGaN,AlGaN,AlInGaN等,是目前全球半導體研究的前沿和熱點。
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(來源:浪潮華光)