10月12日,安徽壹月科技有限公司半導體高純電子工藝設備生產制造基地項目投產啟動儀式暨十周年慶典圓滿完成。
據介紹,壹月科技半導體高純電子工藝設備制造基地項目位于合肥新橋科技示范區,占地約20畝,總建筑面積約2萬平方米。
項目投產后,將具備年產特氣設備2500臺、年產化學品成套設備180臺、年產尾氣處理設備480臺、年產氣體生產成套設備60臺產能規模,有效填補合肥經開區集成電路產業中工藝介質輸送設備產業的空白。
10月12日,安徽壹月科技有限公司半導體高純電子工藝設備生產制造基地項目投產啟動儀式暨十周年慶典圓滿完成。
據介紹,壹月科技半導體高純電子工藝設備制造基地項目位于合肥新橋科技示范區,占地約20畝,總建筑面積約2萬平方米。
項目投產后,將具備年產特氣設備2500臺、年產化學品成套設備180臺、年產尾氣處理設備480臺、年產氣體生產成套設備60臺產能規模,有效填補合肥經開區集成電路產業中工藝介質輸送設備產業的空白。