天眼查知識產權信息顯示,浙江奧首材料科技有限公司申請一項名為“一種用于半導體化合物光刻膠的剝離液、其制備方法及用途“,公開號 CN202410880916.4,申請日期為 2024 年 7 月。
專利摘要顯示,本發明涉及一種用于半導體化合物光刻膠的剝離液、其制備方法及用途。所述的光刻膠的剝離液,按照重量份計算,包括如下組分:有機胺 1020 份;潤濕劑 1030 份;有機溶劑 5080 份;緩蝕劑 0.21 份。本發明采用了復合緩蝕劑體系,其中的巰基可以較好的吸附在砷化鎵表面,形成較好的保護層,同時可以對蝕刻液中游離的砷離子進行螯合,進一步減少腐蝕;同時氮唑類的緩蝕劑可以吸附在鎵離子上,在表面形成互補的保護層,進而減少了剝離液中的腐蝕。采用復合極性有機溶劑體系,能夠提高各物質的溶解性的同時,提高溶解在剝離液中的光刻膠的分散性。