近日，國內第三代半導體領軍企業——天科合達摘得北方芯谷新建區第一塊工業用地，將投資5.2億元建設半導體設備產業化基地項目，標志著北方芯谷新建區建設全面啟動。

遼寧省集成電路裝備及零部件產業園即北方芯谷，位于沈陽市渾南區，總占地面積5.1平方公里，包括建成區五三片區和新建區張沙布片區，規劃建設集整機裝備、零部件、系統集成等于一體的產業集聚區。天科合達是國內最早從事第三代半導體碳化硅晶片研制的國家級高新技術企業之一。這次摘牌的地塊位于北方芯谷新建區，計劃建設第三代半導體碳化硅單晶生長爐、高溫CVD真空爐等裝備研發制造生產基地和半導體設備高溫零部件碳化物涂層等終端產品生產基地。項目預計明年初開工建設，年底前投入使用。

北京天科合達半導體股份有限公司副總經理 趙科新——省里包括市里都出臺了很多支持半導體產業發展的政策和文件，我們天科集團看到了沈陽市發展半導體產業的決心，尤其我們渾南區大家都知道有很好的一個產業基礎，有很好的一個環境，集團也下定決心把這個業務留在沈陽，而且擴大規模進行投資。

沈陽高新區管委會副主任 張貴勇——以天科合達能夠落戶到新片區正式摘地為標志，我們新片區未來有兩平方公里的產業用地可以釋放出來，保證北方芯谷下一步的產業集聚所需要的空間需要。渾南區擁有良好的集成電路裝備產業基礎，集聚了多家引領性IC裝備企業，產品覆蓋薄膜、前道涂膠顯影、單式濕法清洗、分子束外延、干式真空泵、真空機械手、腔體等多個領域，多項技術填補國內空白。年初以來，渾南區進一步加大集成電路產業招商力度，聚焦延鏈、補鏈、強鏈/儲備重點項目14個，總投資35.64億元，預計達產后可新增產值51億元。下一步，渾南區將加快完善園區基礎設施和相關配套，促進意向投資項目早日簽約落地、投產達效，推動集成電路裝備產業鏈不斷向上下游延伸。

張貴勇——根據企業的共性需求，我們正在積極地謀劃和推動，在北方芯谷新片區里，規劃建設一個開放型的、服務于產業發展所需的產業大學，來為入駐企業提供人才保障，同時也能為企業的員工提供一個更加時尚的生活環境。