近日,黑龍江省工信廳公示了第六批專精特新“小巨人”企業(yè)名單,哈爾濱科友半導體成功認定為專精特新“小巨人”企業(yè)。專精特新“小巨人”企業(yè)專注于細分市場,創(chuàng)新能力強、市場占有率高、配套能力突出、掌握關鍵核心技術,是產業(yè)鏈細分領域中的頭部梯隊。科友半導體掌握碳化硅晶體生長、碳化硅襯底生產、碳化硅裝備制造等眾多關鍵核心技術,具備大尺寸低成本導電型碳化硅襯底、高端智能半導體裝備規(guī)模制備能力,可以為客戶提供一站式碳化硅長晶供應鏈服務,技術及工藝水平處于國內領先地位。
科友半導體一直專注于第三代半導體碳化硅領域,突破了真空腔體、密封部件、參數(shù)分析與自動化程序精密控制等裝備關鍵技術,自主研制出目前國際上最大尺寸的8英寸感應加熱和電阻加熱碳化硅晶體生長裝備,成為國內唯一同時擁有兩種長晶爐的企業(yè)。提出了工藝提取反饋的模擬方法、雙溫區(qū)高質量晶體制備方法、應用場協(xié)同效應指導熱場設計方法、原料預結晶燒結方法以及碳化物涂層的制備方法,形成了科友獨具特色的技術體系,在中國電子學會召開的科技成果鑒定會上,以郝躍院士為主任的專家委員會評價“裝備和工藝技術研發(fā)難度大,成果創(chuàng)新性強,研發(fā)成果國內領先,國際先進”。
此前,科友半導體相繼獲得科技部高新技術企業(yè)、技術創(chuàng)新示范企業(yè)、黑龍江省數(shù)字化(智能)車間-科友半導體晶體生長數(shù)字化(智能)車間、規(guī)上企業(yè)等榮譽或資質認定,此次順利通過第六批專精特新“小巨人”企業(yè)認定,是對企業(yè)技術創(chuàng)新能力、研發(fā)能力、發(fā)展能力、經營管理能力的一種肯定與認可,科友半導體在今后的發(fā)展中,將始終堅持走專業(yè)化、精細化、特色化、新穎化發(fā)展道路,承擔起并發(fā)揮出示范引領作用,成為推進新型工業(yè)化、培育新質生產力進程中的一股堅實力量。
哈爾濱科友半導體產業(yè)裝備與技術研究院有限公司成立于2018年5月,企業(yè)坐落于哈爾濱市新區(qū),是一家專注于第三代半導體裝備研發(fā)、襯底制作、器件設計、科研成果轉化的國家級高新技術企業(yè),研發(fā)覆蓋半導體裝備研制、長晶工藝、襯底加工等多個領域,形成自主知識產權,已累計授權專利80余項,實現(xiàn)先進技術自主可控。科友半導體在哈爾濱新區(qū)打造產、學、研一體化的第三代半導體產學研聚集區(qū),實現(xiàn)碳化硅材料端從原材料提純-裝備制造-晶體生長-襯底加工-外延晶圓的材料端全產業(yè)鏈閉合,致力成為第三代半導體關鍵材料和高端裝備主要供應商。