9月8日,北方華創在互動平臺表示,隨著近年來國內零部件供應商能力快速提升,公司國內采購比例也逐年增加,公司自研的射頻電源已經批量應用于多款產品上。
據悉,北方華創產品線不斷創新和完善,平臺化布局加速發展。公司成功研發出高密度等離子體化學氣相沉積(HDPCVD)、雙大馬士革CCP 刻蝕機、立式爐原子層沉積(ALD)、高介電常數原子層沉積(ALD)等多款具有自主知識產權的高端設備,并在多家客戶端實現穩定量產。
同時,公司在先進封裝領域進行了全面布局,可提供TSV(硅通孔)制造、正面制程-大馬士革工藝、背面制程-露銅刻蝕和RDL(再布線層)工藝的全面解決方案,涉及刻蝕、薄膜、爐管、清洗四大類二十余款裝備工藝解決方案。