天眼查知識產權信息顯示,揚州揚杰電子科技股份有限公司申請一項名為“一種改善雙極退化的碳化硅 MOSFET 器件及制備方法“,公開號 CN202410623592.6,申請日期為 2024 年 5 月。
專利摘要顯示,一種改善雙極退化的碳化硅 MOSFET 器件及制備方法。涉及半導體技術領域。包括如下步驟:S100,在碳化硅襯底上外延生長形成碳化硅漂移層;S200,在碳化硅漂移層源區形成 N+區;S300,在碳化硅漂移層形成 PW 區;S400,在 PW 區形成 Spacer 層,通過離子注入形成 NP 區;S500,在 PW 區形成 PP 區;S600,在碳化硅漂移層形成 JFET 區;S700,在碳化硅漂移層頂面形成柵氧層;S800,在柵氧層上通過沉積多晶硅形成 Poly 層,作為柵電極引出;S900,在 Poly 層上通過沉積形成與 Poly 層和 NP 區相接觸的隔離介質層,隔絕柵極和源級,避免兩處短接;本發明降低器件電阻,提高器件通流能力,降低了器件發生雙極退化的可能性。