日本信越化學工業開發出用于制造氮化鎵(GaN)半導體的大型基板。
據媒體報道,此次成功實現大型化的是用于制造氮化鎵化合物半導體的基板。據悉這種基板可用于6G通信半導體以及數據中心使用的功率半導體等。如果使用氮化鎵,就可以在高頻段實現穩定通信,以及進行大功率控制,但一直很難生產出高品質的大型基板,這成為普及的障礙。
信越化學擁有以“QST基板”(使用氮化鋁等材料的自主基板)為基礎,來制備氮化鎵結晶的技術。與硅基板相比,可以制作出更薄、品質更高的氮化鎵結晶。成功開發出了口徑為300毫米的QST基板,面積是此前產品的約2.3倍,與傳統半導體常用的硅基板面積相同。
(來源:集微)