天眼查顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司“碳化硅晶體生長裝置”專利公布，申請公布日為2024年8月9日，申請公布號為CN118461121A。

本發(fā)明提供了一種碳化硅晶體生長裝置，涉及碳化硅單晶材料的制造技術領域，為解決坩堝內的粉體溫度均勻性差的問題而設計。碳化硅晶體生長裝置包括坩堝、感應線圈組件和蓋設于坩堝上方的蓋板，蓋板用于在蓋板的中心設置籽晶，坩堝內設置有至少一個的感應加熱件；感應加熱件具有封閉連續(xù)的外周面，且能夠在感應線圈組件的作用下產(chǎn)生感應渦電流。本發(fā)明提供的碳化硅晶體生長裝置可以改善坩堝內的粉體溫度均勻性。