8月11日,據南通日報消息,落戶于江蘇省南通市啟東市啟東經濟開發區的江蘇晶工半導體設備有限公司(以下簡稱:江蘇晶工)正式向園區提交了建設30畝生產基地的申請。據報道,江蘇晶工計劃通過擴大生產規模,進一步提升晶圓倒角機等核心產品的產能與品質,滿足國內外市場對高端半導體設備日益增長的需求。官網資料顯示,江蘇晶工致力于半導體設備的研發和制造,現已自主研制出4-8英寸和12英寸的全自動倒角機、全自動晶圓單片清洗機、全自動晶圓刷洗機、全自動上蠟機和輪廓儀等。
在大硅片領域,江蘇晶工已成功推出12英寸晶圓倒角設備和技術方案,有效解決了大尺寸硅片加工難題。同時,在第三代半導體材料碳化硅領域,江蘇晶工專注于為6英寸、8英寸及非標準直徑尺寸的碳化硅襯底提供倒角、清洗設備及配套工藝。
目前,江蘇晶工通過與山東大學等開展產學研合作,已申請產品相關專利19項,已獲得授權發明專利1項,實用新型專利4項,研發的12英寸全自動倒角機MET-5800,打破國內大硅片倒角機進口壟斷的局面,全自動倒角機MET-5600成功替代日本進口的倒角機。市場方面,江蘇晶工已與歐洲知名襯底廠家簽訂全自動晶圓倒角機的合同,標志著江蘇晶工產品開始走出國門。
來源:半導體信息