天眼查知識產權信息顯示,揚州揚杰電子科技股份有限公司申請一項名為“一種降低柵極電容的 SiCMOSFET 及制備方法”,公開號 CN202410623581.8,申請日期為 2024 年 5 月。
專利摘要顯示,一種降低柵極電容的 SiC MOSFET 及制備方法,涉半導體技術領域。本發明采用調控柵極和 N耐壓層的重合區域的大小以及柵介質厚度來降低 SiC MOSFET 的柵極電容。傳統的溝槽型 SiC MOSFET,柵極和 N耐壓層的重合區域的寬度等于溝槽的寬度,該重合區域的柵介質厚度等于柵氧厚度,本發明創新性的采用兩次溝槽刻蝕,使柵極和 N耐壓層的重合區域的寬度低于溝槽的寬度,該重合區域的柵介質厚度高于柵氧厚度,從而降低了柵極和 N耐壓層的重合區域對柵極電容的貢獻,達到降低 SiC MOSFET 柵極電容的益處。