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冠石半導體入場首臺先進電子束掩模版光刻機

日期:2024-07-17 閱讀:242
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 寧波前灣新區管理委員會官網消息,近日,寧波冠石半導體有限公司迎來關鍵節點,企業引入首臺電子束掩模版光刻機。據悉,該設備是光掩模版40納米技術節點量產及28納米技術節點研發的重點設備。作為半導體產業鏈上游重要的原材料之一,光掩模版是承載圖形設計和工藝技術等知識產權信息的載體。目前,我國高精度半導體光掩模版產品主要仍依賴于進口,國產化率極低。據冠石相關負責人介紹,企業正加速推進海外布局戰略,并在世界一流半導體光掩模版制造技術班底的加持下,預計今年底,企業將陸續實現為國內外中高端集成電路掩模版提供制版服務。

 

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