7月11日，凝聚“芯”動(dòng)能，共筑“芯”高地——廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導(dǎo)體微納加工中試平臺(tái)通線暨項(xiàng)目簽約儀式在佛山南海舉行。會(huì)上，廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺(tái)通線，微納院二期項(xiàng)目正式封頂，一批半導(dǎo)體項(xiàng)目現(xiàn)場簽約，為南海半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入“芯”動(dòng)能。

活動(dòng)當(dāng)天，廣東微納院與華南師范大學(xué)工學(xué)部還舉行了合作簽約儀式，與一批南海企業(yè)達(dá)成產(chǎn)學(xué)研合作，多方將開展多層次、多形式的合作，促進(jìn)科教融合人才培養(yǎng)、成果轉(zhuǎn)化、創(chuàng)新示范深度融合。廣東省科技廳二級(jí)巡視員夏奇峰、佛山市副市長陳新文、南海區(qū)區(qū)長王勇及南海區(qū)相關(guān)部門、區(qū)內(nèi)高校、科研院所、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)代表超180人參會(huì)。

中試平臺(tái)通線，一批項(xiàng)目簽約

南海半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)注入“芯”動(dòng)能

廣東微納院是由佛山市、南海區(qū)兩級(jí)政府共同建設(shè)，中國科學(xué)院蘇州納米所支持的廣東省省屬事業(yè)單位，聚焦芯片制造環(huán)節(jié)，搭建先進(jìn)半導(dǎo)體工藝研發(fā)體系，形成半導(dǎo)體材料外延生長、芯片加工、封裝測試等全鏈條中試服務(wù)模式，為佛山市半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)強(qiáng)鏈延鏈、大灣區(qū)“芯”動(dòng)能高質(zhì)量發(fā)展提供技術(shù)平臺(tái)支撐。會(huì)上，廣東微納院副院長王暉介紹中試平臺(tái)規(guī)劃與建設(shè)情況。據(jù)介紹，平臺(tái)建成后，將具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力。

廣東微納院副院長王暉介紹中試平臺(tái)規(guī)劃與建設(shè)情況。“希望廣東微納院繼續(xù)加強(qiáng)科研攻關(guān)和中試平臺(tái)工藝能力建設(shè)，努力實(shí)現(xiàn)引領(lǐng)性原創(chuàng)性技術(shù)突破，加快重大科技成果高效轉(zhuǎn)化和迭代應(yīng)用，探索建立科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新互促互強(qiáng)的半導(dǎo)體向‘新’生態(tài)。”中國科學(xué)院蘇州納米所黨委書記鄧強(qiáng)表示。

自研究院成立以來，已為百余家科研院所、高校和企業(yè)提供技術(shù)服務(wù)和人才輸出，獲得了業(yè)界的廣泛認(rèn)可，成為廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要支撐平臺(tái)之一。廣東省科技廳二級(jí)巡視員夏奇峰表示，中試平臺(tái)是連接實(shí)驗(yàn)室與產(chǎn)業(yè)界的橋梁，希望廣東微納院繼續(xù)發(fā)揚(yáng)創(chuàng)新引領(lǐng)精神，不斷提升產(chǎn)業(yè)輻射策源能力，為廣東省和大灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展蓄勢賦能。

活動(dòng)現(xiàn)場，蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所等12家企業(yè)、科研院所與廣東微納院簽訂中試合作協(xié)議。未來，廣東微納院“半導(dǎo)體材料外延與表征”、“半導(dǎo)體微納加工”兩大中試平臺(tái)將分別為合作企業(yè)提供提供外延定制、表征測試及全流程中試流片、技術(shù)咨詢等多種中試服務(wù)。

“廣東微納院是一個(gè)出色的科創(chuàng)平臺(tái)。其憑借著卓越的科研實(shí)力、先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)設(shè)施以及專業(yè)的科研人才隊(duì)伍，為科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了強(qiáng)大的支撐和動(dòng)力。在此前，企業(yè)已經(jīng)與廣東微納院在許多領(lǐng)域達(dá)成了合作意向。”廣州市鴻利秉一光電科技有限公司簽約入駐半導(dǎo)體材料外延與表征中試平臺(tái)，研發(fā)總監(jiān)任榮斌表示，在當(dāng)前半導(dǎo)體激光芯片等領(lǐng)域的發(fā)展進(jìn)程中，企業(yè)不可避免地遭遇了一定的技術(shù)瓶頸，依托研究院的中試平臺(tái)所提供的芯片定制、科研攻關(guān)等一系列專業(yè)服務(wù)，能為企業(yè)突破技術(shù)瓶頸、實(shí)現(xiàn)技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化的實(shí)質(zhì)性進(jìn)展提供強(qiáng)大助力。

產(chǎn)業(yè)園建設(shè)提速

打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚強(qiáng)磁場

依托半導(dǎo)體中試平臺(tái)，廣東微納院于2023年啟動(dòng)二期建設(shè)。二期定位為產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)，建設(shè)6萬平方米專業(yè)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預(yù)計(jì)2025年一季度進(jìn)入試運(yùn)行階段，將打造成為華南地區(qū)潔凈面積最大、產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋最全的專業(yè)化技術(shù)驅(qū)動(dòng)型主題園區(qū)。活動(dòng)舉行了簡單而隆重的二期產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)封頂儀式，6家企業(yè)與廣東微納院簽訂了意向落戶協(xié)議。

“當(dāng)前廣東微納院已構(gòu)建了‘一核五園多要素’平臺(tái)格局，除了中試平臺(tái)通線及二期項(xiàng)目封頂外，研究院將推進(jìn)三期項(xiàng)目規(guī)劃，持續(xù)配備更多半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)相關(guān)設(shè)備，引進(jìn)培育一批半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)企業(yè)，打造成半導(dǎo)體全鏈條產(chǎn)業(yè)服務(wù)平臺(tái)。”王暉表示，在地方政府的支持規(guī)劃下，圍繞廣東微納院的臨近地塊都可以為企業(yè)落地提供支持，將有望打造形成全廣東省乃至華南地區(qū)最適合發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的集聚區(qū)域。未來，廣東微納院將不斷擴(kuò)展產(chǎn)業(yè)版圖，打造成為具有全國影響力的集產(chǎn)業(yè)孵化、人才培養(yǎng)、芯片制造等要素的科創(chuàng)平臺(tái)。

“廣東微納院是佛山重點(diǎn)支持建設(shè)的半導(dǎo)體科創(chuàng)平臺(tái)，對(duì)推動(dòng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新、構(gòu)建產(chǎn)業(yè)生態(tài)、集聚產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到示范引領(lǐng)作用，佛山將著力支持廣東微納院成為全國5個(gè)之一、全省20個(gè)之一的具有國際影響力的中試平臺(tái)。”佛山市副市長陳新文表示，希望研究院繼續(xù)發(fā)揮引領(lǐng)龍頭作用，深化半導(dǎo)體中試平臺(tái)加產(chǎn)業(yè)孵化運(yùn)營和創(chuàng)新運(yùn)營模式，為企業(yè)解決技術(shù)瓶頸和難題，推動(dòng)佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高層次、更廣領(lǐng)域發(fā)展。佛山將繼續(xù)支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，加大政策扶持力度，加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)配套和基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，積極構(gòu)建“益曬你”服務(wù)體系，持續(xù)打造一流的營商環(huán)境，為科學(xué)家、企業(yè)家提供更加貼心、便捷高效的服務(wù)保障，共同攜手探索半導(dǎo)體領(lǐng)域的無限可能與無限機(jī)遇。