日前，位于浙江麗水經開區的麗水睿昇半導體科技有限公司集成電路制造設備用關鍵零部件產業化項目傳來新動向。睿昇半導體是寧波江豐電子材料股份有限公司的二級子公司。后者是專業從事超大規模集成電路高純金屬材料及濺射靶材研發生產的國家高新技術企業。

麗水經濟技術開發區消息顯示，作為寧波江豐電子在麗水投資的3個大項目之一，睿昇半導體集成電路制造設備用關鍵零部件產業化項目總投資10億元，于2022年招引落地，主要建設集成電路大型濺射設備零部件生產線，生產傳輸平臺、反應腔、傳輸腔、焊接反應腔等產品。建成達產后，可實現年產6000套集成電路制造設備用零部件的生產能力，預計可實現年產值15億元、稅收1.1億元。

目前，該項目基礎工程已經全部完成，開啟了建設沖刺模式。截至目前，項目整體施工進度已達75%，同時大部分設備已進場調試并開始產品打樣。預計7月，項目即可實現正式投產。