日前，在麗水經開區的麗水睿昇半導體科技有限公司集成電路制造設備用關鍵零部件產業化項目建設現場，記者看到，在施工管理人員的精準調度下，運輸車輛穿梭不停，各類機械分頭有序作業，共同奏響大干快上、沖刺攻堅的“進行曲”。

睿昇半導體是寧波江豐電子材料股份有限公司的二級子公司。后者是專業從事超大規模集成電路高純金屬材料及濺射靶材研發生產的國家高新技術企業，擁有發明專利570項，制定國家、行業技術標準15項，其研發生產的超高純金屬濺射靶材填補了國內空白。

作為寧波江豐電子在麗水投資的3個大項目之一，睿昇半導體集成電路制造設備用關鍵零部件產業化項目總投資10億元，于2022年招引落地，主要建設集成電路大型濺射設備零部件生產線，生產傳輸平臺、反應腔、傳輸腔、焊接反應腔等產品。建成達產后，可實現年產6000套集成電路制造設備用零部件的生產能力，預計可實現年產值15億元、稅收1.1億元。

目前，項目基礎工程已經全部完成，開啟了建設沖刺模式。截至目前，項目整體施工進度已達75%，同時大部分設備已進場調試并開始產品打樣。預計7月，項目即可實現正式投產。“現在后續工作都在緊鑼密鼓地推進，我們也很期待正式投產后自身的表現，希望能有力助推麗水經開區半導體產業更上一層樓！”項目負責人李響說。

龍江產業平臺相關負責人表示，作為半導體產業重點項目，睿昇半導體集成電路制造設備用關鍵零部件產業化項目是麗水經開區加速產業轉型升級、推動構建新發展格局的重要抓手。平臺會持續做好“后半篇文章”，主動靠前、主動服務，為建設特色半導體“萬畝千億”新產業平臺，打造半導體產業新高峰貢獻力量。