6月19日，上海啟元氣體與肥東縣政府正式簽署半導體先進制程電子特氣國產化項目投資合作協議。啟元氣體董事長俞俊、肥東縣委書記姚飛共同見證簽約，啟元氣體首席運營官楊建、肥東縣委常委、副縣長吳剛共同簽署協議。 

上海啟元氣體將依托韓系技術資源及支持，計劃在位于合肥市肥東縣的合肥循環經濟示范園內建設國內高標準的半導體先進制程電子特氣生產基地。項目占地面積約70畝，建成達產后，預計實現年營收不低于10億元，年稅收不低于6000萬元。該項目的落地，將加快推動國際半導體先進制程電子特氣材料國產化進程，部分產品填補國內空白，將極大增強國內半導體先進制程所需電子特氣的本土供應能力。

上海啟元氣體發展有限公司成立于2009年8月，主要從事電子特氣、電子氣體設備制造及大宗氣體供氣的研發、生產及銷售業務。曾打造國內首臺套氪氙和氖氦稀有氣體精煉設備，并榮獲上海市科技進步三等獎。公司主要高純電子特氣產品已服務于全球一流半導體企業，是國內較早通過韓國三星、SK海力士認證的企業。上海啟元氣體于2021年獲得韓國TEMC戰略投資，TEMC是韓國著名的電子材料上市公司，是三星、SK海力士的核心電子特氣供應商。 

電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，電子半導體器件的性能優劣與電子氣體的純度和質量息息相關。該生產基地建成后，將承擔半導體先進制程所需電子特氣材料的研發、生產、分析及倉儲中心等功能，滿足國內本土終端在先進制程工藝升級中對新材料的需求，實現半導體材料供應鏈自主可控的目標。

近年來，合肥市圍繞“合肥芯”“合肥產”“合肥用”全鏈條，加快推進集成電路產業發展，傾力打造“中國IC之都”，構建了設計、制造、封裝測試、核心工具、裝備材料及終端應用較為完整的產業鏈，本項目的落地，將在先進制程電子特氣材料關鍵環節實現補鏈強鏈，在提升產業鏈穩定性和競爭力方面具有重大意義。