微導納米加速半導體設備智能化工廠建設。

5月29日晚間公告，微導納米擬向不特定對象發行可轉換公司債券的募集資金總額不超過11.7億元。扣除發行費用后，將全部投資于半導體薄膜沉積設備智能化工廠建設項目、研發實驗室擴建項目以及補充流動資金。

2022年登陸科創板的微導納米致力于薄膜沉積設備研究，經過多年發展，形成了以原子層沉積（ALD）技術為核心，化學氣相沉積（CVD）等多種真空薄膜技術梯次發展的產品體系，覆蓋多類工藝技術和產品類別。目前，公司產品已經覆蓋邏輯、存儲、新型顯示（硅基OLED等）和化合物半導體等領域。

據了解，近年來受益于半導體領域行業景氣度的持續攀升，半導體薄膜沉積設備市場呈現出較好的發展態勢。據Maximize Market Research數據，2022年全球半導體薄膜沉積設備市場規模為232.7億美元，結合國內半導體制造設備銷售額占全球銷售額約26%的比例測算，2022年國內半導體薄膜沉積設備市場規模約為60.5億美元。

隨著芯片制造工藝不斷走向精密化，所需要的薄膜層數越來越多，推動半導體薄膜沉積設備市場需求持續增長，Maximize Market Research預計2029年全球半導體薄膜沉積設備市場規模將達559億美元，同比推算國內市場規模將達145.3億美元。

本次微導納米擬募投的半導體薄膜沉積設備智能化工廠建設項目，位于江蘇省無錫市新吳區內，總投資額為6.7億元，擬使用本次募集資金金額為6.43億元。項目擬計劃建設先進的生產車間，購置先進生產設備和量測設備，提升公司薄膜沉積設備的生產能力。

通過本項目的建設，微導納米將持續拓展半導體領域產品的工藝技術類型，并對現有iTomic系列和iTronix系列產品進行技術升級，延展機臺的工藝范圍，同時在設備的占地、產能、成本上進行優化，開發并量產更加先進的工藝技術。

與此同時，近年來，受下游市場需求增長影響，微導納米規模迅速擴張，銷量增長迅速，公司半導體薄膜沉積設備銷售額由2021的0.25億元增長到2023年的1.22億元。2023年度，微導納米新增訂單總額約64.69億元，是上年同期新增訂單的2.96倍。截至2024年3月31日，公司在手訂單81.91億元（含Demo訂單），其中半導體在手訂單量為11.15億元，為保證公司產品交付質量及交付能力，公司亟需擴充產能。

另外，本次募投研發實驗室擴建項目位于江蘇省無錫市新吳區內，項目總投資額為4.3億元，擬使用本次募集資金金額為2.27億元。項目擬計劃建設先進的研發潔凈間，購置先進量測設備，優化公司研發測試環境，提升公司研發能力及科技成果轉化能力。