據塔斯社報道,俄羅斯首臺光刻機已經制造完成并正在進行測試。俄羅斯聯邦工業和貿易部副部長 Vasily Shpak 表示,該設備可確保生產 350 納米工藝的芯片。
Shpak 表示,“我們組裝并制造了第一臺國產光刻機。作為澤廖諾格勒技術生產線的一部分,目前正在對其進行測試。”俄羅斯接下來的目標是在 2026 年制造可以支持 130nm 工藝的光刻機。
據悉,350 納米工藝的芯片現在仍然可以應用于汽車、能源和電信等多個行業。
據IT之家此前報道,俄羅斯科學院下諾夫哥羅德應用物理研究所(IPF RAS) 曾于 2022 年宣布,正在開發俄羅斯首套半導體光刻設備,并對外夸下海口:這套光刻機能夠使用 7nm 生產芯片,可于 2028 年全面投產。
據介紹,他們計劃在六年內制作出光刻機的工業原型,首先要在2024 年開發一臺 alpha 機器。這一階段的重點不在于其工作或解決的高速性,而在于所有系統的全面性。