5月12日，御微首臺掩模基板缺陷檢測產品Halo-100在御微合肥成功發運，并順利交付國內先進掩模廠。

御微半導體官方消息顯示，其Halo-100設備是御微“掩模全生命周期質量控制”產品線的第二款產品，以高精度光學系統、高穩定性運動臺系統以及高潔凈度環控與傳輸系統為基礎，結合御微半導體專有的算法和軟件系統，實現了針對掩模基板（blank）缺陷檢測的需求，并將掩模檢測的應用領域拓展至掩模廠來料檢和掩模基板廠全制程控制檢。

據介紹，在掩模基板廠中，Halo-100設備可以運用在玻璃基板來料檢、多層鍍膜過程檢和成品出貨檢等環節，助力客戶在每個制程節點監測潔凈度情況。