近日，據(jù)日本中央玻璃股份有限公司（Central Glass）官網(wǎng)消息，該公司將參與日本新能源和工業(yè)技術開發(fā)組織（NEDO）的綠色創(chuàng)新基金項目，開展“高質量8英寸SiC單晶/晶片制造技術開發(fā)”，采用液相法研究和開發(fā)SiC晶片。

據(jù)介紹，Central Glass自2022 年4月以來就一直在研究開發(fā)SiC液相法技術，現(xiàn)該項目已轉型為NEDO綠色創(chuàng)新基金資助項目（項目期限為2022財年至2029財年），將進一步助推他們實現(xiàn)世界級高品質8英寸碳化硅晶片的落地量產(chǎn)。

據(jù)悉，目前國內對液相法生長碳化硅的研究也是如火如荼，主要研制單位有中科院物理所，山東大學，浙江大學，天岳先進，晶格領域，常州臻晶等等。

2023年，天岳先進在Semicon China展會上宣布，他們通過對溫場和流場進行控制等，采用液相法制備出了低缺陷的8英寸晶體。

2024年初，中國科學院物理研究所宣布采用高溫液相法，在六方碳化硅(4H-SiC)籽晶上實現(xiàn)了2-4英寸、厚度4-10mm、立方碳化硅(3C-SiC)的異質形核和晶體穩(wěn)定生長。