長江日報大武漢客戶端4月10日訊(記者李琴 通訊員張希為)正在中國光谷舉行的2024九峰山論壇暨化合物半導體產(chǎn)業(yè)博覽會上,九峰山實驗室展出了剛剛下線的全球首片8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓。該項成果可實現(xiàn)超低損耗、超高帶寬的高端光芯片規(guī)模制造,可以制造目前全球綜合性能最優(yōu)的光電集成芯片。這也是該項成果首次公開亮相。
九峰山實驗室工藝中心總經(jīng)理柳俊介紹,由于鈮酸鋰材料本身的脆性大,大尺寸鈮酸鋰晶圓的制備工藝一直是業(yè)界的難題,目前,全球?qū)Ρ∧も壦徜嚨难邪l(fā)主要集中在6寸晶圓上,“此項成果由九峰山實驗室聯(lián)合重要產(chǎn)業(yè)合作伙伴開發(fā),在工藝和技術(shù)上達到了全球領(lǐng)先,將盡快實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)商用”。
記者現(xiàn)場看到,除8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓外,九峰山實驗室還展出了6寸碳化硅新型溝槽MOSFET晶圓等一系列突破性產(chǎn)品。“邊建設(shè)邊開發(fā)”,柳俊表示,得益于前期的技術(shù)積累和從全球引進的頂尖人才,九峰山實驗室才能快速地在化合物半導體領(lǐng)域作出自己的貢獻,“有信心在未來實現(xiàn)更多新技術(shù)上的突破,在全球化合物半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展中發(fā)揮引領(lǐng)作用”。
九峰山實驗室展臺上,“集智九峰、筑芯光谷”8個大字引人注目。現(xiàn)場了解到,作為湖北十大實驗室之一,2021年成立的九峰山實驗室以建設(shè)先進的化合物半導體研發(fā)和創(chuàng)新中心為愿景,在中國光谷建立起世界級的實驗基礎(chǔ)設(shè)施,將來自世界各地的才智聚集在一起,建立由合作伙伴組成的全球生態(tài)系統(tǒng),打造開放、公共、共享的科研中心,構(gòu)建可持續(xù)發(fā)展的未來。
柳俊介紹:“九峰山實驗室擁有業(yè)界領(lǐng)先的化合物半導體基礎(chǔ)設(shè)施,從化合物半導體產(chǎn)品設(shè)計、外延生長、流片到測試,提供全鏈條的一站式服務(wù)。”
毗鄰九峰山實驗室展臺,是4家由九峰山實驗室產(chǎn)業(yè)帶動培育發(fā)展的企業(yè)的展位。其中,武漢驛天諾科技有限公司與九峰山實驗室合作開發(fā)的項目,已通過可靠性測試驗證,所有指標對標國際先進水平,達到國內(nèi)領(lǐng)先地位。“希望他們的產(chǎn)品能讓更多客戶看見,快速打入市場。”柳俊說。
“面向科技前沿,力爭突破,實現(xiàn)技術(shù)上的全面領(lǐng)先。”他表示,未來九峰山實驗室還將針對第四代半導體前沿布局,“希望在第四代半導體成熟階段,有更大機會實現(xiàn)更多產(chǎn)品和技術(shù)上的引領(lǐng)。”