2024年4月9-11日，一年一度化合物半導體行業盛會——2024九峰山論壇暨中國國際化合物半導體產業博覽會（簡稱“JFSC＆CSE”）將于武漢光谷科技會展中心舉辦。北京京儀自動化裝備技術股份有限公司將攜新品亮相本屆盛會，誠邀業界同仁蒞臨1T12展臺參觀、交流合作。
本屆CSE博覽會由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟、九峰山實驗室共同主辦，以“聚勢賦能 共赴未來”為主題，將匯集全球頂尖的化合物半導體制造技術專家、行業領袖和創新者，采用“示范展示+前沿論壇+技術與商貿交流”的形式，為產業鏈的升階發展搭建供需精準對接平臺，助力企業高效、強力拓展目標客戶資源，加速驅動中國化合物半導體產業鏈的完善和升級。
CSE作為2024年首場國際化合物半導體產業博覽會得到了多方力量的大力支持，三大主題展區，六大領域，將集中展示各鏈條關鍵環節的新技術、新產品、新服務，將打造化合物半導體領域的標桿性展會。助力打造全球化合物半導體平臺、技術、產業的燈塔級盛會，集中展示化合物半導體上下游全產業鏈產品，搭建企業發布年度新產品新技術的首選平臺，支撐產業鏈及中部地區建設具有全球影響力的萬億級光電子信息產業集群。
北京京儀自動化裝備技術股份有限公司是一家集研發、生產和銷售為一體的高端裝備制造企業，主要產品包括半導體專用溫控設備(Chiller)、晶圓傳片設備(Sorter/EFEM)、半導體專用工藝廢氣處理設備(LocalScrubber)等專用設備，現已廣泛應用于半導體、LED、LCD等領域。2023年11月29日在上海證券交易所科創板上市，股票簡稱為京儀裝備，股票代碼為688652。
產品介紹
晶圓傳片設備(Sorter)
晶圓傳片設備(Sorter)是集成電路制造過程中不可或缺的設備之一，主要由潔凈大氣機械手、晶圓載物臺 (Load port)、晶圓對準器(Aligner)、視覺系統、控制系統和超潔凈運行空間組成，可以執行分批\合批\排序\倒片等傳片、讀取Wafer ID、對齊Notch 口、讀\寫 FOUP ID、晶圓翻轉等任務組合，可接入工廠的自動化系統與天車、Stocker對接實現全自動化運行。
半導體專用溫控設備 (Chiller)
半導體專用溫控設備 (Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置，屬于生產過程中的溫控設備。研發人員在常規 PID 控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術，顯著地提高了Chiller 的穩定性、控制精度和響應速度。
單通道系列Single channel series
型號：V101
核心特點：優異低溫性能；
節能控制技術；
智能控制方案
雙通道系列Dual channel series
型號：V201
核心特點：優異低溫性能；
節能控制技術；
智能控制方案
雙通道系列Dual channel series
型號：V200
核心特點：滿足切換控溫需求，快速響應；
優異的低溫性能；
具有液位平衡功能；
兩級閉環節能控制
三通道系列Triple channel series
型號：B-830TC
核心特點：三通道整合，達到空間的高效利用；
優化系統傳熱設計，節省循環液使用量；
深化性能開發，匹配先進刻蝕工藝需求；
具有液位平衡功能
三通道系列Triple channel series
型號：T320
核心特點：滿足混合控溫需求，快速響應；
具有自動purge功能；
具有液位平衡功能；
兩次閉環節能控制
面板系列Panel series
型號：S301
核心特點：滿足相關工藝三通道需求；
兩級閉環節能控制；
具有自動補液功能
面板系列Panel series
型號：H110
核心特點：滿足大流量大負載需求；
冷卻水自動調節；
兩級閉環節能控制;
具有自動補液功能
半導體專用工藝廢氣處理設備（Local Scrubber）
半導體專用工藝廢氣處理設備是為半導體、液晶面板等行業中所產生的有毒害化學品提供一個可控制的氣體處理環境。針對不同化學品的化學性質和物理性質選用不同形式的處理方式進行化學反應或物理吸附等，以達到綠色環保等級的處理效率和排放標準。我司對半導體專用工藝廢氣處理設備具備獨立的研發技術能力，能夠為每一位客戶提供優質的產品和技術服務。
產品特點：符合 SEMI 標準
大量的市場裝機容量
產品維護方便快捷
多種可選配置，給客戶提供更多選擇
等離子水洗式產品系列Plasma Wet Type
型號Kylin PW系列
適用制程
適用于半導體制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)，以及光伏、面板、LED行業
對全氟化碳(PFC)氣體處理的效果卓越
全新系統設計
等離子弧火焰超過3000℃，可以高效處理PFC氣體
低耗電量，等離子電源能耗可根據應用制程進行調節
可供選擇的功能模塊
循環水冷卻模塊，降低新水消耗
粉塵自清潔模塊，預防粉塵堵塞
氮氧化物處理模塊，實現氮氧化物排放可控
可維護性、安全性增強
PLC安全互鎖系統，煙感，漏液偵測等傳感器的使用，保證設備安全運行；
部件模塊化設計，便于拆裝維護
高利用效率
高流量以及多進口設計，可以連接多個工藝腔體
較小的占地面積
雙腔燃燒水洗式產品系列Burn Wet Type-Dual System
型號：Kylin DB 系列
適用制程
適用于半導體制程(CVD/PVD/ETCH/DIFF)，以及光伏、面板、LED行業
全新系統設計
采用燃燒水洗式雙腔設計，2+2or 3+3 inlet可支持多個工藝腔體連接。雙腔功能，單腔切換，獨立工作，相互之間無影響
氣體處理量400+400slm/800+800slm,CDA與02版本滿足不同氣體處理量需求
燃燒反應腔
可自身/雙機互備，提供更多互備方案選擇，實現資源利用最大化
支持Process Mode/Idle Mode 多個模式可選降低能耗
可維護性、安全性增強
部件模塊化設計及靈活的維護空間便于拆裝
PLC安全互鎖系統，煙感，漏液偵測等傳感器的使用，保證設備安全運行；
高利用效率
高流量以及多進口設計，可以連接多個工藝腔體
較小的占地面積
電加熱水洗式產品系列Thermal Wet Type
型號：Kylin TW 系列
使用制程
適用于半導體制程(CVD/PVD/DIFF)
全新系統設計
采用水洗-加熱-水洗的三位一體處理結構設計，延長設備維護周期
多模塊選配-自動旁通閥模塊、腔體粉塵自清潔模塊、循環水冷卻模塊
電加熱反應腔
可調節的加熱溫度區間提高了控制廢氣處理溫度的靈活性
獨立的加熱棒設計提高熱效率，并易更換
“Top-Down”結構預防粉塵堆積
可維護性、安全性增強
設備各部件模塊化設計便于設備維護
PLC設計完備的安全互鎖系統保證設備安全穩定運行
高利用效率
高流量以及多進口設計，可以連接多個工藝腔體
較小的占地面積
單腔燃燒水洗式產品系列Burn Wet Type-Single System
型號：Kylin BW 系列
適用制程
適用于半導體制（CVD/PVD/ETCH/DIFF）以及光伏、面板或LED行業
全新系統設計
采用燃燒水洗式結構設計，多進口可支持多個工藝腔體連接
氣體處理量400slm/800slm，CDA與02版本滿足不同氣體處理量需求
燃燒反應腔
火焰系統防風設計保證火焰燃燒穩定
支持 Process Mode/Idle Mode多個模式可選，降低能耗
可維護性、安全性增強
部件模塊化設計及靈活的維護空間便于拆裝
PLC安全互鎖系統，煙感，漏液偵測等傳感器的使用，保證設備安全運行；
高利用效率
高流量以及多進口設計，可以連接多個工藝腔體
較小的占地面積
值此之際，我們誠邀業界同仁共聚本屆盛會，蒞臨展位現場參觀交流、洽談合作。
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