據國家知識產權局公告,北京大學申請一項名為“一種長波長InGaN基發光二極管的外延結構及其制備方法“,公開號CN117747725A,申請日期為2023年12月。
專利摘要顯示,本發明公開了一種長波長InGaN基發光二極管的外延結構及其制備方法。本發明括襯底、非故意摻雜的氮化鎵層、n型摻雜的氮化鎵層、長溝槽型多量子阱、修復層、發光多量子阱和p型摻雜的氮化鎵層;溝槽型多量子阱表面具有環狀V型坑,為溝槽型多量子阱和修復層提供應力弛豫,使得修復層的晶格得到擴張,有利于提高發光多量子阱中的銦并入,并且作為空間隔離,避免環狀V型坑內部的量子阱中的載流子受到外部缺陷的影響;修復層修復低溫生長的溝槽型多量子阱的粗糙表面,為后續生長的發光多量子阱提供平整的生長表面;修復層作為空穴阻擋層,阻擋來自p型摻雜的氮化鎵層的空穴進入到溝槽型多量子阱中,使得空穴集中于發光多量子阱中用于輻射復合。