據國家知識產權局公告,華為技術有限公司申請一項名為“半導體器件及其制備方法“,公開號CN117747642A,申請日期為2022年9月。
專利摘要顯示,本申請提供了一種半導體器件及其制備方法,實現了第一電極層與外延層的歐姆接觸,減小了歐姆接觸的接觸電阻率,有助于減小半導體器件的導通電阻,進而降低半導體器件的功率損耗。半導體器件可以包括外延層、摻雜層、介質層和第一電極層。其中,外延層和介質層層疊設置。半導體器件設有第一凹槽,摻雜層和第一電極層的一部分可以層疊設置于第一凹槽內部。
據國家知識產權局公告,華為技術有限公司申請一項名為“半導體器件及其制備方法“,公開號CN117747642A,申請日期為2022年9月。
專利摘要顯示,本申請提供了一種半導體器件及其制備方法,實現了第一電極層與外延層的歐姆接觸,減小了歐姆接觸的接觸電阻率,有助于減小半導體器件的導通電阻,進而降低半導體器件的功率損耗。半導體器件可以包括外延層、摻雜層、介質層和第一電極層。其中,外延層和介質層層疊設置。半導體器件設有第一凹槽,摻雜層和第一電極層的一部分可以層疊設置于第一凹槽內部。