2024年4月9-11日，一年一度化合物半導體行業盛會——2024九峰山論壇暨中國國際化合物半導體產業博覽會（簡稱“JFSC＆CSE”）將于武漢光谷科技會展中心舉辦。解決方案提供商Axcelis將亮相本屆盛會，誠邀業界同仁蒞臨A112展臺參觀、交流合作。

本屆CSE博覽會由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟、九峰山實驗室共同主辦，以“聚勢賦能 共赴未來”為主題，將匯集全球頂尖的化合物半導體制造技術專家、行業領袖和創新者，采用“示范展示+前沿論壇+技術與商貿交流”的形式，為產業鏈的升階發展搭建供需精準對接平臺，助力企業高效、強力拓展目標客戶資源，加速驅動中國化合物半導體產業鏈的完善和升級。

CSE作為2024年首場國際化合物半導體產業博覽會得到了多方力量的大力支持，三大主題展區，六大領域，將集中展示各鏈條關鍵環節的新技術、新產品、新服務，將打造化合物半導體領域的標桿性展會。助力打造全球化合物半導體平臺、技術、產業的燈塔級盛會，集中展示化合物半導體上下游全產業鏈產品，搭建企業發布年度新產品新技術的首選平臺，支撐產業鏈及中部地區建設具有全球影響力的萬億級光電子信息產業集群。

45年以來, Axcelis一直在為半導體行業提供高產能，創新型的解決方案。Axcelis致力于通過設計、制造離子注入系統并提供產品生命周期的全程支持來推動離子注入相關制程，這是集成電路制造眾最關鍵的賦能步驟之一。想要了解更多，請點擊www.axcelis.com.

產品介紹

Purion XE Series

Purion XE系列單片式高能離子注入平臺結合了RF線性加速器(LINAC)的制程和生產力優勢，且具有Purion平臺的可靠性、高精準度及工藝靈活性。Purion XE系列的基礎產品是Purion XE,還包括能量范圍更廣的Purion EXE、Purion VXE和Purion XEmax。此外，還提供適用于功率器件市場的Purion XE和Purion EXE Power系列。

2）Purion H Series

Purion H系列是Axcelis先進的單片式大束流離子注入平臺。Purion H采用增強型點狀離子束掃描技術，開創了旨在提升良率的離子注入技術新時代。Purion H為客戶提供了前所未有的工藝控制水平，以應對轉換成3D器件的新挑戰。

3）Purion M Series

Purion M是唯一適用于中、低劑量所有溝道工藝應用的中束流離子注入平臺。該平臺可提升單片晶圓產能，涵蓋了傳統中束流工藝、低能量中劑量HALO離子注入和亞兆電子伏特阱區注入新興工藝。Purion M是Purion Power Series的最初產品成員。

值此之際，我們誠邀業界同仁共聚本屆盛會，蒞臨展位現場參觀交流、洽談合作。

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