2024年4月9-11日,一年一度化合物半導(dǎo)體行業(yè)盛會——2024九峰山論壇暨中國國際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(簡稱“JFSC&CSE”)將在武漢光谷科技會展中心舉辦。 第三代半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商山東晶升電子科技有限公司將攜新品亮相本屆盛會,誠邀業(yè)界同仁蒞臨A302號展臺參觀、交流合作。
本屆CSE博覽會由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、九峰山實驗室共同主辦,以“聚勢賦能 共赴未來”為主題,將匯集全球頂尖的化合物半導(dǎo)體制造技術(shù)專家、行業(yè)領(lǐng)袖和創(chuàng)新者,以及從芯片設(shè)計、晶圓制造、封裝測試、材料和設(shè)備到核心部件領(lǐng)域企業(yè)參展,采用“示范展示+前沿論壇+技術(shù)與商貿(mào)交流”的形式,為產(chǎn)業(yè)鏈的升階發(fā)展搭建供需精準(zhǔn)對接平臺,助力企業(yè)高效、強力拓展目標(biāo)客戶資源,加速驅(qū)動中國化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的完善和升級。
山東晶升電子科技有限公司坐落于泉城濟南,是一家專注于寬禁帶半導(dǎo)體裝備研發(fā)和生產(chǎn)的國家級高新技術(shù)企業(yè),研發(fā)范圍覆蓋半導(dǎo)體裝備研制、長晶工藝,已形成系列自主知識產(chǎn)權(quán),實現(xiàn)先進技術(shù)自主可控。致力成為行業(yè)寬禁帶半導(dǎo)體關(guān)鍵裝備供應(yīng)商,并在濟南市長清區(qū)建設(shè)了寬禁帶半導(dǎo)體裝備制造場地。企業(yè)已順利申請下2019年知識產(chǎn)權(quán)貫標(biāo),2019-2023年連續(xù)入庫濟南市科技型中小企業(yè)名單,2021被評為國家級高新技術(shù)企業(yè),2022年通過GB/T9001-2016質(zhì)量管理體系認(rèn)證。 2023年成為中國電子材料行業(yè)協(xié)會新成員。主要推廣產(chǎn)品為第三代、第四代半導(dǎo)體高端裝備,PVT晶體生長爐、電阻法晶體生長爐、液相法晶體生長爐、HVPE氫化物氣相外延爐(氮化鎵)、LPE氮化物高壓晶體生長爐、HVPE鹵化物氣相外延爐(氧化鎵)、導(dǎo)模法晶體爐、氧化鎵垂直布里奇曼晶體生長爐。
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產(chǎn)品介紹
PVT-SiC-400晶體爐:6/8英寸;
產(chǎn)品特點:
·適用于6,8英寸,導(dǎo)電/高純半絕緣型SiC晶體生長。
·適用于長時間,高質(zhì)量,規(guī)模型晶體生長。
·擁有高精度的控溫、控壓能力,工藝性能優(yōu)良,設(shè)備一致性好,具有豐富的量產(chǎn)經(jīng)驗。
·可選恒功率、恒電流、恒溫工作模式;
·一鍵智能啟動,減少人工干預(yù),利于規(guī)模化生產(chǎn);
·緊湊立體化的整機設(shè)計,方便布局,提高廠房利用率;
·采用高精度蝶閥和質(zhì)量流量計控制爐內(nèi)長晶壓力,提供穩(wěn)定的長晶氣氛。尤其在晶體生長壓力下最高可達到±1Pa的控壓精度。
氮化鎵高壓助熔劑晶體生長設(shè)備:2/4/6英寸;
產(chǎn)品特點:
·Na助熔劑液相外延生長2-4 英寸GaN晶片,也可用于高壓助熔劑法探索新型氮化物晶體;
·助熔劑法(Na Flux method)生長氮化鎵(GaN)單晶具有諸多優(yōu)勢,是目前國際上公認(rèn)的可實現(xiàn)高質(zhì)量、大尺寸氮化鎵體單晶產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的生長技術(shù)之一。由于氮化鎵單晶的生長體系(如下簡稱“生長體系”)一般采用含有金屬鈉和金屬鎵的黏性液相金屬和氮氣作為生長源,在生長過程中,于氣液界面處氮源首先達到過飽和,形成氮化鎵多晶殼層,導(dǎo)致外部氮氣在氣液界面處被阻斷,從而導(dǎo)致生長體系氮源供給中斷,進而使生長體系中的氮化鎵籽晶停止液相外延生長;形成的氮化鎵多晶殼層一方面阻斷體系氮源供給,另一方面消耗體系中金屬鎵源。因此,有效抑制生長體系中這種多晶的形成已經(jīng)成為該生長技術(shù)中的關(guān)鍵難點之一;
·雙溫區(qū)加熱,最高使用溫度1000℃,最高壓力9Mpa;
·氮氣溶解速度快,分布均勻,生長速度可達30um/h;
·可外延生長高結(jié)晶質(zhì)量和低位錯密度的單晶;
HVPE氫化物氣相外延設(shè)備:2/4/6英寸;
水平HVPE
立式HVPE
產(chǎn)品特點:
·高的生長速率。
·橫向縱向生長比率高,孔洞少,可以生長大面積厚膜。
·單晶生長速率:≥50微米/小時。
·藍寶石襯底外延生長氮化鎵(GaN)單晶層厚度:>1mm。
·產(chǎn)品尺寸:2/4/6英寸。
值此之際,我們誠邀業(yè)界同仁共聚本屆盛會,蒞臨展位現(xiàn)場參觀交流、洽談合作。
關(guān)于JFSC&CSE 2024