2024年4月9-11日,一年一度化合物半導體行業盛會——2024九峰山論壇暨中國國際化合物半導體產業博覽會(簡稱“JFSC&CSE”)將在武漢光谷科技會展中心舉辦。 國內高端集成電路裝備領域代表企業——至微半導體將攜多款產品亮相博覽會,將展示并分享清洗設備等產品、技術成果與進展,并期待與業界同仁互通交流。誠邀業界同仁蒞臨2T42號展臺參觀、交流合作。
本屆“JFSC&CSE”由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟、九峰山實驗室共同主辦,以“聚勢賦能 共赴未來”為主題,將匯集全球頂尖的化合物半導體制造技術專家、行業領袖和創新者,以及從芯片設計、晶圓制造、封裝測試、材料和設備到核心部件領域企業參展,采用“示范展示+前沿論壇+技術與商貿交流”的形式,為產業鏈的升階發展搭建供需精準對接平臺,助力企業高效、強力拓展目標客戶資源,加速驅動中國化合物半導體產業鏈的完善和升級。
CSE作為2024年首場國際化合物半導體產業博覽會得到了多方力量的大力支持,三大主題展區,六大領域,將集中展示各鏈條關鍵環節的新技術、新產品、新服務,將打造化合物半導體領域的標桿性展會。助力打造全球化合物半導體平臺、技術、產業的燈塔級盛會,集中展示化合物半導體上下游全產業鏈產品,搭建企業發布年度新產品新技術的首選平臺,支撐產業鏈及中部地區建設具有全球影響力的萬億級光電子信息產業集群。
至純集團至微半導體作為國內高端集成電路裝備領域代表企業,以生產銷售高端集成電路濕法制程裝備為主業,重點發展單片和批次式清洗設備,廣泛應用于集成電路制造(邏輯/記憶體/三維IC)、先進封裝、微機電系統等領域。至微的8寸、12寸批次式設備已有數十臺的安裝實績,并獲得客戶認可;12寸單片設備已有機臺驗收并投入量產,已接到重復訂單,目前還有許多高階制程(14/28nm)工藝應用驗證中。
部分產品簡介
12寸槽式清洗設備
高生產能力;從Load到unload的傳輸能力可達到 600 片/小時;傳送機構運行穩定;標準化獨立模塊,使設計、組裝、檢修更加方便;機臺內裝有破片檢測系統水槽視覺檢出系統可以檢出破碎wafer,避免二次傷害。
12寸單片清洗設備
占地面積小8英寸占地8.94 m,12英寸占地10.93m模塊化設計,易于維護和設置;極好的穩定性和可靠性擁有高速傳輸系統和良好的腔體匹配;工藝時wafer表面溫度監控,藥液回收設計,可回收硫酸。
公司:至微半導體(上海)有限公司
地址:上海市閔行區紫海路170號
郵箱:pnc@pncs.cn
官網:www.pnc-systems.com
電話:86-021-8023 8200
值此之際,我們誠邀業界同仁共聚本屆盛會,蒞臨展位現場參觀交流、洽談合作。
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