據國家知識產權局公告,長鑫存儲技術有限公司申請一項名為“晶圓級封裝方法“,公開號CN117690804A,申請日期為2022年9月。
專利摘要顯示,本公開實施例提供一種晶圓級封裝方法,包括:提供晶圓;在晶圓中形成電連接結構,電連接結構底部位于晶圓中,晶圓頂面露出電連接結構的頂部;在晶圓上形成芯片,芯片與電連接結構頂部電接觸;在晶圓上形成封裝結構,芯片位于封裝結構中;對晶圓底面進行第一背磨工藝,以露出電連接結構的底部;形成導電結構,導電結構與電連接結構底部接觸。本公開實施例至少有利于提高晶圓封裝的良率。