2024年4月9-11日,一年一度化合物半導體行業盛會——2024九峰山論壇暨中國國際化合物半導體產業博覽會(簡稱“JFSC&CSE”)將于武漢光谷科技會展中心舉辦。上海先普氣體技術有限公司將攜產品亮相博覽會,誠邀業界同仁蒞臨3T25號展臺參觀、交流合作。
本屆“JFSC&CSE”由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟、九峰山實驗室共同主辦,以“聚勢賦能 共赴未來”為主題,將匯集全球頂尖的化合物半導體制造技術專家、行業領袖和創新者,以及從芯片設計、晶圓制造、封裝測試、材料和設備到核心部件領域企業參展,采用“示范展示+前沿論壇+技術與商貿交流”的形式,為產業鏈的升階發展搭建供需精準對接平臺,助力企業高效、強力拓展目標客戶資源,加速驅動中國化合物半導體產業鏈的完善和升級。
先普自2004年成立以來,在充分掌握國際先進氣體純化核心技術的基礎上,通過不斷的研究創新,已獲得六十項專利證書,自主開發了十幾個系列上百種產品,純度可提供9N、7N兩種級別,其中壓力范圍從1.0MPa的常壓到24MPa的高壓,流量范圍從幾百毫升每分鐘到上萬立方米每小時。
先普的氣體純化產品既可以為晶體生長,外延,氧化,擴散,CVD,MOCVD,PECVD等眾多半導體工藝設備配套提供超高純的工藝氣體;也可用于超高純氣體和電子氣生產,低濃度標準氣和混合氣配制;以及用于純化超高純氣體管道施工中TIG軌道焊機的氬氣和驗收吹掃的氮氣;還可以應用于超微量水、氧分析儀,氣相色譜儀(GC),常壓離子質譜儀(APIMS)等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣。
基于不懈的技術創新,嚴格的品質管理和國內制造的成本優勢,先普以實用的產品,專業的服務,合理的價格為客戶提供高性價比的氣體純化解決方案。
產品介紹
【產品系列】:9N氣體純化器
【產品介紹】:先普9N系列純化產品采用國際最成熟的催化劑/吸附劑(Catalyst / Adsorber)和吸氣劑(Getter)技術,分為POU終端純化器、Getter純化器和原位自動再生型純化系統三大類,可用于純化大宗氣體(N2, Ar, He, H2, O2, CDA等)和特殊氣體(氫化物氣體, CO2等),氣體流量從1slm到20000Nm3/h,純化后氣體中H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC等分項雜質含量均小于1ppb。
【產品系列】:先普氣體過濾器
【產品介紹】:先普以多年來為客戶提供氣體純化與過濾解決方案的經驗,應國內半導體產業國產化需求,推出0.003微米高精度氣體過濾器,覆蓋流量范圍從30slm到10000Nm3/h。
【產品系列】:先普POU氣體純化器
【產品介紹】:先普POU高性能氣體純化器采用的是常溫催化劑技術,通過化學反應和物理吸附相結合的方法在常溫下將工藝氣體(進氣純度5N)中的H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等雜質去除到1ppb以下(7NP系列為5ppb以下),并且在內表面電化學拋光的316L不銹鋼罐體中內置了過濾精度為0.003微米的顆粒過濾器。
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值此之際,我們誠邀業界同仁共聚本屆盛會,蒞臨展位現場參觀交流、洽談合作。
關于JFSC&CSE 2024