近日，邑文科技完成超5億元D輪融資，本輪由中金資本旗下中金佳泰基金、海通新能源領投，揚州正為、洪泰基金、西安常青、千曦資本、蜂云投資、超越摩爾、長江創新、楚商基金、凱恩睿昇、水木資本等聯合投資。
邑文科技是一家半導體設備研發商，成立于2011年，主營業務為半導體前道工藝設備的研發、制造，公司主要產品為刻蝕工藝設備和薄膜沉積工藝設備，應用于半導體（IC及OSD）前道工藝階段，尤其是化合物半導體和MEMS等特色工藝領域。
萬創投行消息顯示，目前，邑文科技已成功打破部分國外技術的壟斷，實現了對國外頭部零配件合作供應商及國內供應商雙兼容主流產品的迭代。邑文科技系列產品的性能和可靠性對標國際一流企業，并且多款設備實現了多家國內頭部碳化硅企業的批量供貨。邑文科技擁有全自主知識產權的刻蝕設備、CVD薄膜沉積設備、去膠設備、ALD設備，覆蓋刻蝕、去膠、ALD、CVD、固膠、退火等多個類別。在刻蝕、薄膜沉積、去膠設備三大細分領域形成了強大的競爭力，得到了比亞迪半導體、士蘭微、三安光電、中電科、國網研究院、中科院微電子所等多家下游龍頭企業及科研院所的認可。
