在6英寸車規級碳化硅晶圓制造無塵車間內，設備上綠色、黃色燈光閃爍，工作人員看一眼就知道設備處于生產還是閑置狀態；幾名設備工程師正在調試新裝設備，沖刺擴產；“天車”沿著無塵車間屋頂的軌道懸垂于空中往返穿梭，調試與機器人“搭檔”搬運芯片，將實現機臺到機臺的全自動無人化搬運；無塵車間外的辦公室內，工程師坐在電腦前通過設備共享屏幕遠程監控設備狀況，“千里眼”明察秋毫，指尖輕點鍵盤即可隨時遠程處理各種狀況……

新年伊始，位于廣州南沙的國內最大專注于車規級碳化硅芯片制造企業芯粵能廠內一派熱火朝天的生產景象。

圖為6英寸碳化硅平面MOSFET晶圓；當前，以碳化硅為代表的半導體已成為全球半導體技術和產業新的競爭焦點；然而，全球碳化硅功率器件市場長期由海外巨頭壟斷，現階段我國寬禁帶半導體國產化率較低，市場需求量較大。

作為廣東“強芯工程”重大項目，芯粵能今年正加速一期產能爬坡，年底實現年產24萬片6英寸車規級碳化硅芯片的規劃產能。芯粵能項目達產后將極大緩解當前國產車規級碳化硅芯片緊缺的現狀，成為全球領先的車規級碳化硅功率半導體制造企業之一，解決碳化硅芯片“卡脖子”問題，奠定中國碳化硅功率器件領域的領先地位。

探秘無塵車間：高速氣流讓工作人員“一塵不染”

近日，記者來到芯粵能無塵車間，跟隨芯粵能晶圓廠廠長邵永華“探秘”。

芯粵能生產車間。

車間內24小時維持無塵狀態，恒溫恒濕，四季如春，“寸土寸金”。進入無塵車間的人員“武裝”到牙齒，潔凈服、頭套、手套齊備，全身只有眼睛露在外面，再經過長長的通道才能進入車間。邵永華指著通道頂部告訴記者：“通道上空不斷向下吹淋高速氣流，工作人員經過時，身上微小的塵埃粒子會被吹走，確保進入無塵車間時符合生產的潔凈度要求。”

車間內，最引人矚目的是矗立在地面的一排排設備和屋頂穿梭運行的一輛輛“天車”。“‘天車’系統是我們自動搬運系統的一部分。我們是國內首家采用該系統的6英寸碳化硅晶圓廠。調試成功后，‘天車’將與機臺機器人配合，實現車間內材料的全自動無人化搬運，既提高效率，又降低差錯。”邵永華說：“高端制造智能化是趨勢，工程師不需要一直待在車間，在辦公室就可以通過設備共享屏幕實時監控設備狀況，并發出指令遠程操控設備。”

記者看到，設備上有紅色、黃色、綠色的不同燈光閃爍。“這是自動監測系統，綠燈代表正常生產，黃色代表休整閑置，紅色代表異?？赡?，需要工作人員來看一下。”據邵永華介紹，在整個車間內，全自動檢測系統無處不在，尤其是針對產能性能的檢測，跟隨著產品的每一個環節，循環多次檢測，確保產品性能和良率：“目前我們出廠的芯片性能、良率達到了國際先進水平，國際主流碳化硅公司研發的產品均可以在我們的平臺量產。”

記者看到，無塵車間內工作人員穿著藍色、白色、灰色等不同顏色的潔凈服，灰色服裝的設備調試工程師，正在對多臺新引進的設備進行調試。“整個工廠正在擴產爬坡，今年年底實現年產24萬片6英寸車規級碳化硅芯片的規劃產能。預留的8英寸產線就在6英寸產線隔壁，建成后將具備年產24萬片8英寸車規級碳化硅芯片的能力。”邵永華介紹。

打造“芯航母”：助力廣東建成集成電路第三極

在廣州市、南沙區大力支持下，芯粵能15個月即建成投產，建設速度在業內罕見。無塵車間2022年11月正式啟用，目前已經實現月產1萬片產能。車規級和工控級芯片成功流片并送樣，車規認證完成在即。截至目前，芯粵能已與40多家客戶簽約流片，覆蓋全國絕大部分碳化硅芯片設計企業，良率和一致性備受認可。

廣東芯粵能半導體有限公司。

近年來，南沙引進培育了芯粵能、芯聚能、晶科電子、聯晶智能、南砂晶圓等一批行業龍頭企業，初步形成覆蓋半導體和集成電路設計、制造、封裝測試、設備材料的產業鏈。南沙積極建設寬禁帶半導體設計、制造和封測基地，打造粵港澳大灣區寬禁帶半導體產業生態圈，為未來產業發展注入強“芯”劑。

作為扎根南沙的企業，芯粵能董事長肖國偉認為，南沙地處粵港澳大灣區地理幾何中心、毗鄰港澳，區位優勢明顯，產業集聚方面有巨大的應用市場優勢。“廣深已有多家芯片設計公司落地集聚，隨著碳化硅應用市場不斷拓展延伸，未來會有更多碳化硅芯片設計和應用開發公司前來落地扎根，產業集聚效應日益突顯。”尤其是“南沙方案”發布以來，面向高科技企業形成可執行可落地的政策，南沙區也出臺了多項科技專項扶持政策，鼓勵以企業為主體推動關鍵核心技術攻關，推動企業與科研機構聯合科技創新，更給企業發展提供了源源不斷的強大動能，吸引了越來越多企業聚集南沙。

展望2024年，芯粵能將啟動一期產能爬坡，年底實現年產24萬片6英寸碳化硅芯片的規劃產能。芯粵能項目達產后將極大緩解當前國產車規級碳化硅芯片緊缺的現狀，成為全球領先的車規級碳化硅功率半導體制造企業之一。

一個碳化硅航母級企業將崛起在灣區之心。芯粵能志在賦能全球電力應用，成為碳化硅領域值得信賴的“芯航母”。隨著項目達產，將帶動碳化硅襯底材料、芯片制造、模塊封裝到新能源汽車應用的國產化產業鏈建設，推動建設大灣區寬禁帶半導體和新能源汽車的產業生態，助力廣東建成集成電路第三極，奠定中國碳化硅功率器件領域的領先地位。

關鍵詞

芯粵能

芯粵能碳化硅芯片制造項目是廣東“強芯工程”重大項目，項目總投資額為75億元，將建成年產24萬片6英寸和24萬片8英寸碳化硅晶圓芯片的生產能力。