12月27日，總投資6億元、由上海盛劍半導體科技有限公司建設運營的國產半導體制程附屬設備及關鍵零部件生產基地在嘉定工業區開工。項目建成后，有望提升半導體制程附屬裝備的高端國產化配套能力，推動半導體裝備國產替代率不斷提高。

生產基地選址嘉定工業區（北區）JDSB0301、JDSB0302、JDSB0303單元64-03地塊，東至基地邊界，南至基地邊界，西至城北路，北至興順路。項目占地面積約42畝，擬分兩期投資建設，將打造成為集研發、制造、銷售和維保服務為一體的國產先進半導體附屬裝備平臺。

據了解，上海盛劍半導體科技有限公司是國內半導體產業工藝廢氣治理系統解決方案領軍企業——上海盛劍環境系統科技股份有限公司的子公司。截至目前，企業已獲專利50余項，在半導體附屬設備領域具備深厚積累。

（來源：澎湃新聞）