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工信部公開征集對《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準、1項行業標準外文版和38項推薦性國家標準計劃項目的意見

日期:2023-11-16 閱讀:240
核心提示:根據標準化工作的總體安排,現將申請立項的《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準、《雪蓮養護貼》

 根據標準化工作的總體安排,現將申請立項的《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準、《雪蓮養護貼》等1項行業標準外文版項目和《環境污染防治設備  術語》等38項推薦性國家標準計劃項目予以公示(見附件1、2、3),截止日期為2023年12月16日。如對擬立項標準項目有不同意見,請在公示期間填寫《標準立項反饋意見表》(見附件4)并反饋至我司,電子郵件發送至KJBZ@miit.gov.cn(郵件主題注明:標準立項公示反饋)。

公示時間:2023年11月16日-2023年12月16日

聯系電話:010-68205241

地址:北京市西長安街13號 工業和信息化部科技司

郵編:100804

 

附件:

1.《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準制修訂計劃(征求意見稿)

2.《雪蓮養護貼》等1項行業標準外文版計劃(征求意見稿)

3.《環境污染防治設備 術語》等38項推薦性國家標準制修訂計劃(征求意見稿)

4.標準立項反饋意見表

 

工業和信息化部科技司

2023年11月16日

(來源:工信部官網)

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