11月4日,晶盛機電年產25萬片6英寸、5萬片8英寸碳化硅襯底片項目簽約啟動。
晶盛機電消息稱,該項目總投資21.2億元。建成后,晶盛機電將利用自身的技術和資源優勢,加快碳化硅襯底片的關鍵核心技術攻關和產業化,加速推進第三代半導體材料國產化進程。
2017年,晶盛機電開始碳化硅晶體生長設備和工藝的研發,相繼成功開發6英寸、8英寸碳化硅晶體和襯底片,目前已建設6-8 英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光中試線,6英寸襯底片已通過多家下游企業驗證,正處于快速上量階段,8英寸襯底片處于小批量試制階段。
11月4日,晶盛機電年產25萬片6英寸、5萬片8英寸碳化硅襯底片項目簽約啟動。
晶盛機電消息稱,該項目總投資21.2億元。建成后,晶盛機電將利用自身的技術和資源優勢,加快碳化硅襯底片的關鍵核心技術攻關和產業化,加速推進第三代半導體材料國產化進程。
2017年,晶盛機電開始碳化硅晶體生長設備和工藝的研發,相繼成功開發6英寸、8英寸碳化硅晶體和襯底片,目前已建設6-8 英寸碳化硅晶體生長、切片、拋光中試線,6英寸襯底片已通過多家下游企業驗證,正處于快速上量階段,8英寸襯底片處于小批量試制階段。