9月26日，瑤光半導體自研的首批SiC激光退火設備ES500-2量產(chǎn)下線，并舉行了交付儀式。

本次交付本次交付不僅驗證了瑤光半導體高效落實客戶承諾，也標志著瑤光半導體在半導體制程設備領域已經(jīng)具備產(chǎn)業(yè)化、規(guī)模化的能力。

首批國產(chǎn)化激光退火設備下線  正向研發(fā)技術領先

SiC激光退火設備ES500-2采用正向研發(fā)的思路，自研集成系統(tǒng)和光路設計，

創(chuàng)新性使用六西格瑪穩(wěn)健性開發(fā)、可靠性設計，結合自研生產(chǎn)核心零部件，實現(xiàn)了長期、安全、穩(wěn)定、可靠運行，滿足客戶的使用要求。

與傳統(tǒng)激光退火和市面上同類型的機器性比，瑤光半導體此次下線交付的激光退火設備在性能上更高效、更安全、更靈活和更智能。

SiC激光退火設備ES500-2產(chǎn)品亮點

1、極致能效

具有更低的延時，能夠快速加熱材料表面，從而顯著提高了生產(chǎn)效率：可實現(xiàn)快速的6inch晶圓退火，僅需300秒，而市面同類型產(chǎn)品需要600s。

2、安全可靠

經(jīng)過可靠性開發(fā)和模塊化設計，降低了潛在的安全風險，提高了設備的可靠性。

3、行業(yè)領先

支持逐步退火和局部退火模式，提供更高的加工靈活性和控制精度，適應性更強。而傳統(tǒng)或同類型的激光退火設備難以實現(xiàn)逐步或局部退火，因此在特殊應用中的應用領域受限。

4、智能制造

配備智能晶圓檢測系統(tǒng)，可進行激光能量補償和晶圓厚度檢測，從而支持全自動生產(chǎn)，提高了生產(chǎn)效率。

瑤光半導體：可靠性是量產(chǎn)的保證  實現(xiàn)真正國產(chǎn)化

中國是世界上最大的半導體消費國，也是最大的半導體進口國。每年進口的半導體設備價值超過300億美元，占全球市場的近一半。提升半導體設備國產(chǎn)化率迫在眉睫。

瑤光半導體激光退火設備領先的加工精度，良品率，提高了加工效率，大幅降低了制造成本。這進一步表明，瑤光半導體自研的激光退火設備不僅是進口代替，更實現(xiàn)優(yōu)于國外同類產(chǎn)品的技術指標，具有行業(yè)領先性。

作為一家專注于第三代寬禁帶半導體先進制程設備的企業(yè)，瑤光半導體正持續(xù)加大研發(fā)投入，著力提高國產(chǎn)設備的質量和性能，降低成本和依賴度，為國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)提供更強的支撐和保障，賦能半導體產(chǎn)業(yè)。